华声在线日讯(全媒体记者 王铭俊 通讯员 张星)今日，中国电科48所携自主研制的集成电路、第三代半导体等范畴要害中心专用设备露脸2023上海世界半导体博览会。作为本届展会的一大亮点，该所首先发布自主研制、用来出产碳化硅外延片的国产8英寸碳化硅外延设备，标志国产第三代半导体专用中心配备跨进“8英寸年代”。

　　碳化硅作为第三代半导体资料，具有耐高温、高电压、高频率、高功率等优秀功能，被大范围的应用于电力、通讯、光电、新能源等范畴。其间，碳化硅外延片是制作碳化硅电力电子器件的要害资料。相较于此前出产的6英寸外延设备，此次发布的8英寸碳化硅外延设备出产出的外延片边际损耗更小、可利用面积更大，未来经过产值和规划效益的提高，本钱有望下降60%以上。

　　“外延设备跨进‘8英寸年代’一直是工业聚集的热门之一。”中国电科48所党委书记王平介绍，扩展设备尺度是碳化硅工业链降本增效的有用途径。中国电科48所聚集国内第三代半导体工业高质量发展需要，首先展开8英寸碳化硅外延设备要害技术打破，先后处理了衬底易开裂、外延层厚度均匀性难控制等问题，完成了大尺度外延资料成长所需的均匀、稳定温流场散布。现在该设备已在国内头部企业上线验证。

　　“咱们的方针是‘串珠成链，以线所着力在外延、注入、氧化、激活等专用中心配备上发力打破，结合立式分散炉、物理气相堆积等通用设备与半导体芯片出产线的建线经历，成为国内仅有具有供给碳化硅整线集成处理方案才能的单位。

　　此前，在6英寸碳化硅外延机型方面，48所收成了国内第三代半导体配备职业的榜首大订单。该所研制的芯片制作要害配备碳化硅高温离子注入机已完成100%国产化，稳居国内市场占有率榜首。

　　“咱们将坚决担负起‘国家队’的任务职责，助力碳化硅职业向低本钱、规划化方向跨进。”王平表明，下一步，48所将继续加强要害中心技术打破，以工业链要点环节的补链固链强链为己任，积极展开工业链协同立异，构成产学研严密协作、上下游链条打通的协同立异局势，为我国第三代半导体工业完成高水平科技自立自强奉献“配备力气”。